精密加工和超精密加工测控技术-德尔特混合设备公司

精密测量与控制是精密加工和超精密加工的必要条件，加工中常常采用在线检测、在位检测、在线补偿、预测预报及适应控制等手段，如果不具备与加工精度相适应的测量技术，就不能判断加工精度是否达到要求，也就无法为加工精度的进一步提高指出方向。测量仪器的精度一般总是要比机床的加工精度高一个数量级，目前，超精密加工所用测量仪器多为激光干涉仪和高灵敏度的电气测量仪。
灵敏的误差补偿系统也是必不可少的。误差补偿系统一般由测量装置、控制装置及补偿装置三部分组成。测量装置向补偿装置发出脉冲信号，后者接受信号后进行脉冲补偿。每次补偿量的大小，取决于加工精度及刀具磨损情况。每次补偿量越小，补偿精度越高，工件尺寸分散范围越小，但对补偿机构的灵敏度要求越高。