精密磨削主要是靠对普通磨料砂轮的精细修整，使磨粒具有微刃性和等高性，等高的微刃在磨削时能切除极薄的金属，从而获得具有大量极细微磨痕、残留高度极小的加工表面，再加上无火花阶段微刃的滑挤、摩擦、抛光作用，使工件得到很高的加工精度。
超精密磨削则是采用人造金刚石、立方氮化硼（CBN）等超硬磨料砂轮对工件进行磨削加工。磨粒去除的金属比精密磨削时还要薄，有可能是在晶粒内进行切削，因此，磨粒将承受很高的应力，使切削刃受到高温、高压的作用。
普通材料的磨粒，在这种高剪切应力、高温的作用下，将会很快磨损变钝，使工件表面难以获得要求的尺寸精度和粗糙度数值。
超精密磨削与普通磨削最大的区别是：径向进给量极小，是超微量切除，可能还伴有塑性流动和弹性破坏等作用。它的磨削机理目前还处于探索研究中。
精密磨削砂轮的选用以易产生和保持微刃为原则。粗粒度砂轮经精细修整，微粒的切削作用是主要的；而细粒度砂轮经修整，呈半钝态的微刃在适当压力下与工件表面的摩擦抛光作用比较显著，工件磨削表面精糙度值比粗粒度砂轮所加工的要小。