精密与超精密加工方法主要可分为两类：
1、采用金刚石刀具对工件进行超精密的微细切削和应用磨料磨具对工件进行珩磨、研磨、抛光、精密和超精密磨削等；
2、采用电化学加工、三束加工、微波加工、超声波加工等特种加工方法及复合加工。
另外，微细加工是指制造微小尺寸零件的生产加工技术，它的出现与发展与大规模集成电路有密切关系，其加工原理也与一般尺寸加工也有区别。它是超精密加工的一个分支。这里主要介绍光刻细微加工技术。

微机械是科技发展的重要方向，如未来的微型机器人可以进入到人体血管里去清除“垃圾”、排除“故障”等。微机械是指尺寸为毫米级以及更小的微型机械，而细微加工则是微机械、微电子技术发展之基础，为此世界各国都投入巨资入发展细微加工技术，比如当今正在流行的“纳米加工技术”。
细微加工技术是指制造微小尺寸零件、部件和装置的加工和装配技术，它属于精密、超精密加工的范畴。因而其工艺技术包括：精密和超精密的切削与磨削方法；绝大多数的特种加工方法；与特种加工有机结合的复合加工方法等3类。